Typer Plasma Elektroder
The Semiconductor Industry Association (SIA) representerer 90 prosent av halvlederprodukter produsert i USA. Den multi-milliard dollar halvlederindustrien selger millioner av ørsmå mikroprosessor, som er opprettet med plasma-elektroder. Typer av plasma elektroder er: induksjon kombinert, mikrobølgeovn eller radiobølge elektroder. Plasma-elektrodene på bunnen av ovnen aksler, når temperaturer over 6000 grader Celsius. Plasma elektroder fordampe metallet, som frakker kobber eller silikon dannende halvledere.
Elektrisk utladning Plasma Elektroder
Plasma elektroder slipper elektrisk strøm gjennom et stoff som ikke leder elektrisitet. Air isolerer. Det leder ikke strøm, men en flere tusen volt elektrisk felt gått gjennom normalt isolerende luft, skaper nitrogen, oksygen og andre gasser ioner. Plasma elektroden fører negativt ladet elektroner å bryte av nitrogen eller oksygenatomer og forlater de positivt ladede ioner. De ioner og elektroner (plasma) beveger seg gjennom den høye spenning skaper en elektrisk strøm. Plasma leder elektrisk strøm.
Vaccuum Arc Plasma Elektroder
Vacuum arc elektriske utladninger bruker plasma belegg i metallurgi og som plasma filmer. Vakuum buer er fra sammenkoblede høyspente elektroder i et vakuumkammer. Den elektriske lysbue bærer ionisert plasma og leder den magnetiske arc å belegge en microchip overflate. Lysbuen kan rettes med et magnetisk felt. Coating microchips med et ladet plasma arc er en prosess som kalles "vakuum arc deponering." Flytende metall dråper spray fra elektrodene overflaten, noe som svekker den kvaliteten på tynn plasma belegg. De inkonsistente Dråpene fjernes fra plasmastråle ved å blokkere strømmen av plasmabuen mellom elektroden og halvlederoverflaten. Denne prosessen kalles "filtreres vakuum bue avsetning."
Corona og glødeutladning Elektroder
Korona elektrisk utladning er et delvis inhomogent elektrisk utladning. Korona elektrisk utladning opprettes av en høyspent elektrisk felt i nærheten av en skarp elektrode. Corona er en lav strøm, høy spenning utslippet. Glow utslipp er flere hundre volt og en ampere strøm. Den lave ioniserte strøm forsterkes i kollisjon med andre partikler. Forsterkningen skaper sekundære elektroner. Elektriske utladninger er også laget av mikrobølge eller laser bølger med eller uten elektroder.
Kapasitivt koblet plasma (CCP) Elektroder
En kapasitivt koblet plasma (CCP) elektrode er faktisk to plasma-elektroder med litt avstand mellom dem inne i en reaktor. Trykket fra gassen inne i reaktoren kan være lavere enn trykket av atmosfæren. En CCP elektrode dirigerer radiobølger, vanligvis på 13,56 MHz. En plasma-elektrode er koblet til den elektriske strøm, og den andre er jordelektroden. De CCP elektrodene er festet i parallell, og plasma som dannes på denne måte er kapasitivt koblet plasma. Kapasitivt koblet plasma noen ganger produserer lys, mens generere plasma med en kondensator. Elektronene bombarderer en elektrode raskt bli negativt ladet, og de skaper plasma sekundærstrøm i tillegg til vekselstrømmen. En likestrøm elektrode begeistrer elektroner og avgifter ioner. Dette mikroprosess avsetter en tynn film plasma på en elektrode. Halvledere fra CCP kan bli etset.